• 超低溫泵工作原理和結構

           超低溫泵主要由泵殼、障板和冷屏、冷頭、二級冷板等組成。為了監測到低溫泵的使用情況,在障板、冷屏以及二級冷板上安裝了硅二極管,可以監測到低溫泵內的溫度。

      低溫泵是依靠小型制冷機提供冷量,將二級冷板冷卻到12K以下,使低溫表面具備抽氣能力。

      利用液氮提供80K左右的冷屏蔽,為二級冷板提供冷背景,并冷凝大量水汽等,保證冷板具備持續抽氣能力,提高極限真空。

      不銹鋼泵殼提供密封環境,支撐內部和外部設備及部件,形成泵體。

      泵口的障板主要是為進入泵內的氣體遇冷,并冷凝部分氣體,保護冷板不受熱沖擊。

      這三部分從外到內溫度從高到低,要求互不接觸, 互相熱隔絕,逐層提供冷屏蔽。

           主要由泵殼、障板和冷屏、冷頭、二級冷板等組成。為了監測到低溫泵的使用情況,在障板、冷屏以及二級冷板上安裝了硅二極管,可以監測到低溫泵內的溫度。

      超低溫泵的工作原理是利用氣體在超低溫表面發生物理吸附而達到排氣的效果,是獲得潔凈真空的一種有效、快捷的方法。

           超低溫泵的一級冷臺上,設置屏蔽罩和擋板,溫度維持在80K。二級冷臺維持在15K,上面設置低溫罩和活性炭吸附劑。

      水蒸氣凝固在80K屏蔽罩和80K擋板上;氮氣、氧氣和氬氣凝固在15K低溫罩上;氫氣、氦氣和氖氣被吸附在15K低溫罩內側的吸附劑上。低溫泵可以對所有氣體排氣,但是如果吸附的氣體量過多,則排氣速度降低。這時,需要將低溫泵加熱,放出吸附的氣體后,重新使用。


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